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第58章 命运的摇头

  “东西都放这儿了,不用帮忙吗?”赵宇将材料放在了一旁,问着正调试着设备的李观。

  “谢谢师兄,你忙你的就行。”李观专注地看着仪器上的数字,其实他是在最后一遍对照脑中的资料整理着实验步骤。

  “那我就先过去了。”

  赵宇说完就出了实验室。

  其实实验室的这些器材基本上每次使用都要排队,大家做一次实验最少也要分成两次来。

  但正好今天老包过来开组会的时候,强调了让大家整理数据,调整实验步骤。所有人这会儿基本都在办公区整理数据写报告,这就方便了李观。

  “温度750℃,比例十比一。”

  李观将材料按比例投放,操作CVD开始升温至反应温度。

  大约四十分钟以后,丝毫没有感觉到疲惫的李观,双眼紧盯着窗口采集信号。

  “曲线比对一致,资料中显示的成核期应该就在现在。”

  李观手指悬停在停止按钮上,大约等待了三分钟的时间,他立即按下了停止键。

  他松了一口气,虽然还没有看到实验结果如何,但在它冷却的期间自己却是可以放松下了,无论成功与否,已经不能更改了。

  “活跃状态”虽然带给他充沛的精力,但心理上和精神上的压力还是只能自己承担。

  单晶MoS₂在降温过程中需要极其缓慢,否则不到1nm厚度的材料极易开裂或者脱落,一旦如此就只能重头再来。

  而这个时间少说也要一个小时,李观正好趁这个时间出去透透气。从进来到现在也将近两个小时了,虽然室内温度比较低没怎么出汗,但穿个无尘服也实在不怎么舒服。

  “做完了?结果怎么样?”

  赵宇见李观换衣服出来上前问道。

  虽然马上到晚上九点了,但实验室还是有大半的人没有走。听见赵宇的声音,有几人的目光朝这里看了过来。

  “还行吧,正在冷却,一会儿才能知道。”

  李观笑了笑,没有说更多的内容。在座的没有人知道李观正在用CVD生成单晶薄膜,都以为李观还在做之前的沉积硅片。

  要是让他们发现李观的实验内容,怕是所有人都要立马起立。

  钼原子和硫原子在炉子内高温活化,再在衬底的缺陷处结合成核。有了核后续的活化原子不再无序,而是在压力下纷纷沿着晶核边缘有序排列形成完美的六边形薄片,就如冬日窗户上结的薄霜。

  这与多晶硅沉积的实验难度根本就不在一个层级,这是肉眼难以观察的原子层级的微观实验。

  “顺利就行,我们做实验就是要有耐心,你看我们实验室里谁没有做废过材料。失败再站起来,走错路就重走,迷茫了就歇歇脚重新出发。只要不灰心,命运总会在不经意间找上你。”

  还没走的向飞鹏听到这话,有些无奈地撇了撇嘴。大师兄哪都好,就是有点老妈子了。平时老包不在的时候,都是他在解答开导其他师兄弟。久而久之,就这样了,鸡汤随时挂在嘴边。

  可现在站在那儿的那位做出的硅片,迁移率可是还要超过老包的,这是他下午吃完饭回来碰见老包后专门问的。

  他还嘲笑了老包两句,不出所料被制裁了。给他下了封口令。

  命运怕是见了这位都得羞愧难当,哭着说自己没用。

  “你自己把握好分寸,别逼自己太紧。”

  赵宇见李观一待实验室就是一天,还是没忍住多嘴了几句,无尘服穿着有多难受他们最清楚。

  “谢谢师兄,我记住了。”

  李观认真地点了点头,他能感受到对方话语里真切的关心。

  九点出头的时候大多数的人都离开了实验室,就剩寥寥几人一脸愁容的看着实验数据。

  李观看了眼时间,再次穿戴妥当进了洁净区。

  “他怎么又进去了?”

  “谁知道?实验没做完?”

  “有点太卷了吧。”

  “听老向说他下午做的实验数据,比老包之前最高的那次还要好。”

  “真的假的?”

  “我也听说了,说是迁移率直接干到300了,还是老包亲自检测的数据。”

  “这么吓人?哪儿来的大神啊?清北的?科院没听说过这号啊?”

  洁净室里的李观根本听不到外面大家的议论,听到也只会一笑而过,当下最重要的是观察二硫化钼单晶薄膜是否制备成功。

  “真成了!”

  从显微镜中看到薄膜的时候李观有些开心,他在做之前并不能保证百分百的成功率,甚至只有一半一半的把握。

  一半成,一半重来。

  毕竟是完全不同的技术路线,尤其是只要单晶而不堆叠,这非常考验他的技术。

  这下成了,他的心也放下了一半。

  “接下来就该静电转印了。”

  他启动静电印章,静电力瞬间捕获了这片单晶薄膜,他缓缓地将其转移至新的SiO₂衬底,全程没有任何的污染,毕竟纳米层级有一丝的沾染都只有失败的结局。

  “接下来就是最为困难的一步了。”

  如果说前面是五五开,那这个步骤就只有三七开了,李观做好了失败的准备。不行就凌晨出去跑三公里,强制重启新一天,连夜重开。

  他将衬片转移进了ALD腔内。

  “通氮吹扫,温度升至150°C。”

  李观有些紧张地默念着,按下了启动键。

  腔内温度稳定后,三甲基铝脉冲注入,分子在薄膜表面吸附,与之反应形成了单层Al–CH₃,多余的被氮气吹走。

  接着水蒸气脉冲注入,水解了残留物,在薄膜表面生成了Al₂O₃。

  这样循环一次仅能生长0.11nm,而需要3nm厚度就需要循环30次,要保证吸附均匀,一次不能出错。否则后续就会像被搭歪了的积木一般,前功尽弃。

  “稳住。”

  李观心中默念,设定了30次循环。

  监控屏幕上,显示着材料质量在逐步增加。半个小时后,沉积完成。

  “好像是成了?”

  一直在一旁观察的李观极为紧张。比马上要五杀了,对方最后一人也就丝血了,但身旁却突然亮起了两道闪现的亮光来的还要紧张。

  他有些紧张地看着显微镜下的画面,平整,均匀,无杂质。

  “成了!真成了!”

  “我必须立马开始光刻!”!!!

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